半導體器件高低溫測試設備（Chiller）主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設備。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：2163

服務熱線

021-51602552

立即咨詢

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

半導體高低溫測試機

高低溫動態(tài)控溫系統(tǒng) 溫變測試系統(tǒng) 制冷加熱循環(huán)器恒溫循環(huán)器半導體制冷裝置半導體制冷恒溫系統(tǒng) 半導體專用溫控裝置半導體晶圓溫度控制半導體溫控設備chiller 半導體溫控裝置半導體專用控溫設備半導體恒溫半導體恒溫系統(tǒng) 高低溫循環(huán)器高低溫一體機高低溫循環(huán)裝置高低溫一體循環(huán)機高低溫冷熱臺控溫設備半導體冷水機半導體溫控系統(tǒng) 半導體制冷冷水機半導體冷卻一體機半導體高低溫系統(tǒng) 半導體芯片測試冷水機半導體冷卻加熱恒溫一體機芯片半導體專用冷水機恒溫恒流恒壓冷水機晶圓測試國產(chǎn)替代溫控系統(tǒng)

查看全部產(chǎn)品

冷卻循環(huán)器標準化操作規(guī)程：從啟動到維護的全流程指南

半導體溫控裝置Chiller的作用及原理

解密半導體制冷裝置四大核心系統(tǒng)的協(xié)同運作原理

Chiller是什么？有哪些分類？

芯片半導體專用冷水機的四大核心技術優(yōu)勢

產(chǎn)品介紹

半導體器件高低溫測試設備（Chiller）主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設備。在常規(guī)PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術，并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應速度。

半導體器件高低溫測試設備特點：

變頻控制，智能PID控制

預測控制及自適應控制

模塊化功能定制，高效節(jié)能

兩級閉環(huán)節(jié)能控制

普泰克（proteco)制冷設備技術集合了多位生物制藥領域、機械設計、軟件自控的專業(yè)人才，依托于浙江大學制冷研究院的技術團隊支持，致力于高低溫設備的研究、開發(fā)、制造、銷售。

我司借鑒歐美技術，以模塊化部件為平臺，衍生出多款高低溫設備產(chǎn)品，提出：“個性化溫度控制解決方案"的理念！嚴格按照客戶要求進行規(guī)劃和制造，產(chǎn)品廣泛應用于國內(nèi)外科學研究和工藝開發(fā)、新能源汽車、生物技術、醫(yī)藥行業(yè)、航空航天、半導體、醫(yī)療技術等行業(yè)。

上一個：直冷型低溫制冷機