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PTHC系列低溫液冷機

簡要描述:PTHC系列低溫液冷機應(yīng)用于晶圓測試的高低溫冷熱臺(晶圓測試載物臺)chuck的加熱制冷控溫,載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫,液冷制冷機主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量:1326
詳情介紹

PTHC系列低溫液冷機應(yīng)用于晶圓測試的高低溫冷熱臺(晶圓測試載物臺)chuck的加熱制冷控溫,載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫,液冷制冷機主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成??刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù),高清觸摸屏顯示,設(shè)有多項保護(hù)功能,確保設(shè)備安全運行。通過機組自身的加熱與冷卻,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件。

設(shè)備控溫范圍:-80℃~200℃

Chuck盤面控制溫度:-60℃

溫度穩(wěn)定性:±0.1℃

制冷系統(tǒng):采用雙極壓縮制冷系統(tǒng)

定制:可按要求定制-60℃液冷制冷機



    參數(shù)看清楚

型號

  • 設(shè)備名稱

  • 制冷方式

  • 操作面板

  • 載冷劑

  • 全密閉系統(tǒng)

  • 介質(zhì)溫度范圍

  • 溫度精度

  • 溫度穩(wěn)定性

  • 溫度反饋

  • 控溫對象

  • 顯示分辨率

  • 通信協(xié)議

  • 外部輸入

  • 存儲功能

  • 冷凝方式

  • 安全防護(hù)

液冷制冷機

  • PTHC系列低溫液冷機

  • 雙級復(fù)疊制冷

  • 7英寸彩色觸摸屏,中文顯示,操作簡便 、顯示直觀, 可顯示 、記錄 溫度曲線和測試數(shù)據(jù)

  • 氟化液或硅油

  • 管道材質(zhì):SUS304,采用全密閉式結(jié)構(gòu)設(shè)計

  • -80℃ ~ 200℃

  • 出口溫度±0.5 ℃

  • ± 0.1 ℃

  • 設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)溫度反饋PT100 (回口溫度 、 出口溫度) ,控晶圓測試chuck盤溫度

  • 設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度 (可選擇控制物料溫度)

  • 0.01K

  • MODBUS RTU協(xié)議、RS 485接口+以太網(wǎng)接口

  • 外置測溫傳感器端口 、USB數(shù)據(jù)接口

  • 試驗執(zhí)行時, 可實時顯示圖形曲線, 顯示內(nèi)容;溫度設(shè)定實際值,執(zhí) 行程序周期,程序執(zhí)行中具有跳文件,保持功能。

  • 風(fēng)冷

  • 設(shè)備運行狀態(tài)實時顯示,故障信息自動診斷, 多項報警保護(hù): 電源故 障 ,壓縮機過載 、循環(huán)泵熱過載 、制冷低壓報警 、 制冷高壓報警 、超 溫 、溫度模塊故障 、 電加熱防干燒設(shè)計等保護(hù)功能。




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