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普泰克制冷設(shè)備

專注于半導(dǎo)體行業(yè)溫控

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普泰克-半導(dǎo)體芯片溫度測(cè)試維修保養(yǎng)

更新時(shí)間:2025-07-04點(diǎn)擊次數(shù):737

三、測(cè)試設(shè)備維修保養(yǎng)

1. 高低溫探針臺(tái)保養(yǎng)

  • 日常保養(yǎng)
    • 探針:每次使用后用無水乙醇擦拭探針針尖,去除氧化層和污染物,避免針尖磨損或接觸不良;定期檢查探針臂張力,防止變形。

    • 樣品臺(tái):清潔表面污漬(用軟布蘸異丙醇),檢查導(dǎo)熱涂層(如鍍金層)是否脫落,脫落需重新鍍膜以保證溫度均勻性。

    • 溫度控制系統(tǒng):每周檢查制冷 / 加熱管路(如液氮管道)是否泄漏,加熱絲是否老化;每月校準(zhǔn)溫度傳感器(用標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)對(duì)比)。

  • 定期維護(hù)(每 6-12 個(gè)月)
    • 校準(zhǔn)溫度穩(wěn)定性:用精密測(cè)溫儀(如 FLUKE 5520A)在關(guān)鍵溫度點(diǎn)(如 - 40℃、25℃、125℃)驗(yàn)證波動(dòng)是否≤±0.1℃。

    • 真空 / 氣氛系統(tǒng):檢查真空泵油位,更換老化密封圈,確保真空度達(dá)標(biāo)(≤10??Pa),避免低溫下樣品結(jié)霜。

2. 紅外熱像儀保養(yǎng)

  • 鏡頭維護(hù):用專用鏡頭紙蘸鏡頭清潔劑擦拭,避免指紋或灰塵影響成像;長(zhǎng)期不用時(shí)蓋好鏡頭蓋。

  • 傳感器校準(zhǔn):每年送廠校準(zhǔn),確保測(cè)溫精度(可通過黑體爐在 - 50~300℃范圍內(nèi)驗(yàn)證)。

  • 電池與存儲(chǔ):鋰電池需定期充放電(每月 1 次),避免長(zhǎng)期虧電;存儲(chǔ)環(huán)境需干燥(濕度≤60%)、無腐蝕性氣體。

3. 熱電偶 / 熱電阻保養(yǎng)

  • 檢查接線端子是否松動(dòng)或氧化(氧化會(huì)導(dǎo)致接觸電阻增大,誤差增加),定期用細(xì)砂紙打磨并涂抹導(dǎo)電膏。

  • 發(fā)現(xiàn)熱電偶絲破損、絕緣層老化時(shí)及時(shí)更換(尤其是高溫下使用的 K 型熱電偶,壽命約 1000 小時(shí))。

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